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等離子清洗機的工作流程

更新時間:2022-05-10       點擊次數(shù):2147
  隨著社會的發(fā)展及技術(shù)的需要,工業(yè)生產(chǎn)對生產(chǎn)材料的要求也不斷增強,如在微電子封裝工藝中,電子設(shè)備的小型化、高精度,對封裝工藝的可靠性提出了相應(yīng)的要求,高質(zhì)量的封裝技術(shù)可以提高電子產(chǎn)品的使用壽命。等離子清洗機是利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
 
  等離子清洗機的工作流程如下:
  (1)被清洗的工件送入真空室并加以固定,啟動運行裝置,開始排氣,使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10Pa 左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時間人約需要2min。
  (2)向真空室引入等離子清洗用的氣休,并使其壓力保持在100Pa。根據(jù)清洗材質(zhì)的不同,可分別選用氧氣、氫氣、氬氣或氮氣等氣體。
  (3)在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加高頻電壓,使氣體被擊穿,并通過放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體*籠罩在被處理工件,開始清洗作業(yè)。一股清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。
  (4)清洗完畢后切斷高頻電壓,并將氣體及汽化的污垢排出,同時向真空室內(nèi)鼓入空氣,并使氣壓升至一個大氣壓。
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