掃描電鏡等離子清洗機(jī)

簡要描述：CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程等離子清洗源設(shè)計(jì)，清洗快速、高效、低轟擊損傷，主要用于 SEM 或 FIB 等腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/p>

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詳細(xì)介紹

品牌	CIF	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),地礦,能源

產(chǎn)品特點(diǎn)

◆ 遠(yuǎn)程離子清洗源

◆ 清洗快速、高效

◆ 低轟擊損傷

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號	CIF-SEM
法蘭接口	KF40（CF40）
工作氣壓	0.3-3Pa
等離子電源	13.56MHz 射頻電源，射頻功率 5-150W 可調(diào)
等離子電源	遠(yuǎn)程等離子源，自動匹配器
氣體控制	標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)（MFC）可選雙路。0-500sccm，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響
氣源選擇	根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇
真空保證	真空計(jì)和電磁閥安全互鎖
操控方式	7 寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面
電源 / 功率	AC220V，50/60Hz，300W
可選配件	可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器，氫氣純度﹥ 99.999％，輸出流量 0-500SCCM
質(zhì)量保證	二年質(zhì)保，終身維護(hù)
產(chǎn)品尺寸	L320xW385xH465mm
包裝尺寸	L440xW535xH725mm
整機(jī)重量	25

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